Shimadzu TMP-1303LM/TMP-1303LMC 分子泵进气法兰口VG200/ICF253/ISO200B ，出气法兰口KF40，抽速可达到1300 L/s，转速为30300rpm，极限压力 10-8 pa,TMP-1303MC岛津磁悬浮分子泵对应的控制器为：Shimadzu EI-D1303M

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